美国ALICAT 流量控制器MC-50SCCM-D/5M,GAS CO2
产品特点 :
● 数字化产品
● 多参数显示和输出:温度、压力、流量等
● 多参数控制,如体积流量、质量流量和压力
● 标配三种控制方式:数字、模拟和本地面板
● 可选高精度:优于0.5%
● 高量程比 200:1
● 响应时间快 仅需100ms
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体,并存储20种混合气
应用:
● 大学/研究所
● 环境监测
● 真空行业及镀膜
● 工业炉窑
● 半导体
● 汽车制造
● 光伏
● 燃料电池
● 计量
● 过程工艺气体测量
技术参数 :
介质要求:非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类:内置了100多种气体,请参考背面气体兼容表
一台设备内置所有气体,用户可现场选择
量程:从0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM(详情请咨询)
量程比:200:1
最大显示流量:102.4%FS
显示屏:同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-读数 FS-满量程
高精度:±(0.4%Rd + 0.2%FS),选配
仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备
重复性:± 0.2% FS
零点漂移&满量程漂移:0.02% F.S / oC / Atm
预热时间:<1s
响应时间:100ms(可调)
标定工况:25oC & 100kPa 绝压、20oC & 100kPa 绝压、0oC & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)
工作温度:-10 ~ +50 oC
工作湿度:0-100%,无冷凝
标准最大工作压力:1MPa 表压
标准极限耐压:1.2MPa 表压
中压选项:2MPa
数字输入/输出信号:RS232、RS485、Modbus、Profibus*
模拟输入/输出信号:0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA
供电电压:7-30 Vdc (如选4-20 mA输出,须为15-30 Vdc)
供电电流:250mA ~ 750mA
电气接口:8针Mini-DIN、DB9、DB15、6针工业接头
材质:302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝
黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃
防护等级:IP40